Physikalisch-Technische Bundesanstalt

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Aktuelles

Pressemitteilung
Nanosensor misst gleichzeitig Kraft und Weg

(02.04.2013)

NanoScale

Die diesjährige NanoScale (25. u. 26.04.2013) hat in Paris statt gefunden www.nanoscale.de

Änderung der Fachbereichsstruktur

Die Struktur des Fachbereichs hat sich mit dem Jahreswechsel 2013 verändert und wird in den Seiten bereits abgebildet.

Strukturänderungen:

AG 5.11 Nanokraftmesstechnik für taktile Sensoren

• wird umbenannt in Härte und taktile Antastverfahren.
• Aus der Arbeitsguppe 5.12 Härte- und Schichtdickenmessung wird der Bereich Härte der Arbeitsgruppe zugewiesen.
• Der Bereich Nanokraftmesstechnik verlässt die Arbeitsgruppe und wird zu einer eigenständigen Arbeitsgruppe 5.12 Nanokraftmesstechnik.

Die alte Arbeitsgruppe 5.12 Härte- und Schichtdickenmessung

• wird aufgelöst.
• Der Bereich Härte wird der Arbeitsgruppe 5.11 zugewiesen.
• Der Bereich Schichtdickenmessung kommt zur erweiterten Arbeitsgruppe 5.13 Schichtdicke und Kristalline Normale.

Es gibt eine neue Arbeitsgruppe 5.12 Nanokraftmesstechnik

• mit den Themen der Nanokraftmesstechnik und der Nanokraftnormalmesseinrichtung
• unter Leitung von Dr. rer. nat. habil. Vladimir Nesterov.

Die Arbeitsgruppe 5.13 Oberflächenmesstechnik an Nanostrukturen

• wird in Schichtdicke und Kristalline Oberflächen umbenannt.
• Die Leitung geht von Dr. rer. nat. Ludger Koenders auf Dr. rer. nat. Ingo Busch über
• Der Bereich der Schichtdickenmessung der ehemaligen Arbeitsgruppe 5.12 Härte- und Schichtdickenmessung kommt in diese Arbeitsgruppe

Die Arbeitsgruppe 5.14 Rauheitsmessverfahren

• wird in 3D-Rauheitsmesstechnik umbenannt.
• Die Führung geht an Dr. rer. nat. Ludger Koenders über. Herrn Dr.-Ing. Rolf Krüger-Sehm sei an dieser Stelle für seine langjährige gute Führung der Gruppe gedankt, er steht weiterhin beratend zur Verfügung.

Die Arbeitsgruppe 5.15 Kalibrierung von Rauheitskenngrößen

• bleibt in ihrer bisherigen Form bestehen.

Vorübergehend ist die alte Struktur noch über unten anhängige Links einsichtig:

ehem. 5.11 Nanokraftmesstechnik für taktile Sensoren

ehem. 5.12 Härte und Schichtdickenmessung

ehem. 5.13 Oberflächenmesstechnik an Nanostrukturen

ehem. 5.14 Rauheitsmessverfahren

5.15 Kalibrierung von Rauheitskenngröße ist unverändert.

Pressemittteilung

Profilscanner für Strukturen mit großem Aspektverhältnis

(02.05.2012)

Co-Nanomet

Im nun abgeschlossenen Projekt Co-Nanomet des 7. Europäischen Rahmenprogramms (FW7) sind Grundlagen für eine erfolgreiche europäische Nanometrologie erarbeitet worden. Die Dokumente:
- Introductory Guide to Nanometrology
- Nanometrology Discussion Papers 2011
- Critical Dimensions, Scanning Probe Techniques and Thin Film Metrology
und weitere sind über den Server des Projektleiters (euspen) verfügbar. www.euspen.eu/nanometrology

Aufgaben und Ziele

Rückführbare Messtechniken für Oberflächenkenngrößen bilden die Basis für eine begleitende Qualitätssicherung in Forschung, Entwicklung und Produktion. Insbesondere für die Mikrosystemtechnik und die Nanotechnologie ist ferner eine starke Verknüpfung von dimensionellen mit anderen physikalischen und chemischen Eigenschaften kennzeichnend.
Der Fachbereich Oberflächenmesstechnik sieht es als sein Ziel an, für die Messung an Oberflächen der Mikrosystemtechnik, der Nanotechnologie und der allgemeinen Messtechnik (Rauheits-, Härte- und Schichtdickenmesstechnik, etc.) Messgeräte und -verfahren zu entwickeln und weiter zu verbessern, um kleinere Messunsicherheiten sicher zu erreichen. Dies beinhaltet für die Weitergabe dimensioneller Größen an DAkkS und Industrie auch die Entwicklung und Kalibrierung von Normalen.
Der Fachbereich beteiligt sich an der Neubestimmung der Avogadrokonstante und ist in eine Reihe von nationalen und internationalen Forschungsprojekten eingebunden.

Arbeitsgruppen

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